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無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。無塵車間所利用過濾器過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些塵埃一旦擴(kuò)散便無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對無塵車間造成交叉污染，人員在作業(yè)中途和作業(yè)寬畢均應(yīng)按規(guī)定的順序退出無塵車間。
無塵車間能夠分成下列好多個(gè)級別：1級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級、百1萬級。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國際性無塵規(guī)范的A1級。現(xiàn)階段運(yùn)用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的無塵規(guī)范針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是業(yè)界別名級別中的萬級。 無塵車間詳細(xì)地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷生活、節(jié)約項(xiàng)目投資和經(jīng)營費(fèi)用的標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
萬級凈化車間規(guī)范包含以下幾點(diǎn)：1、細(xì)顆粒物較大容許數(shù)(每立方);2、大或相當(dāng)于0.5微米的粒子數(shù)不可超出350000個(gè)，大或相當(dāng)于5微米的粒子數(shù)不可超出2000個(gè);3、微生物菌1種較大容許數(shù);4、菌數(shù)不可超出一百個(gè)每立方;5、菌數(shù)不可超出三個(gè)每培養(yǎng)液。6、壓差：同樣潔凈室等級的潔凈室壓差保持一致，針對不一樣清潔級別的鄰近潔凈室中間壓差要≥5Pa，潔凈室和非潔凈室中間要≥10Pa。千級凈化車間對溫度、環(huán)境濕度無特別要求時(shí)，以衣著潔凈服不造成舒適感為宜，溫度一般操縱在冬天20~22℃;夏天24~26℃;起伏±2℃。冬天潔凈室環(huán)境濕度操縱在30-50%，夏天潔凈室環(huán)境濕度操縱在50-70%。7、配電設(shè)備：潔凈室(區(qū))的關(guān)鍵生產(chǎn)制造用地一般光照強(qiáng)度值宜≥300Lx;輔助個(gè)人工作室、工作人員清潔和原材料清潔用室、氣閘室、過道等的光照強(qiáng)度值宜為200~300Lx。
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